展示終了:コンフォーカル3次元形状測定システム…μSurfexplorer
μSurfexplorerは白色LEDとNipkow diskを用いたコンフォーカル顕微鏡式の測定装置です。
最小測定分解能（Z軸）2nmと高精度な三次元形状測定を実現致します。
展示終了:レーザー共焦点3次元形状測定システム･･･μScanCF4
共焦点方式で凹凸形状高さ、幅測定を高精度に測定可能。
【日時】2009年7月29日（水）～7月31日（金）
【場所】東京ビックサイト NanofocusブースＮｏ．C-18