µsurf expert

• R&D用最高品質研究共焦点顕微鏡と品質保証
• 高速測定
• 自動式
• 衝突阻止機能
• 最大光解像度
• コンパクトな組み立て

光学三次元表面検査の新たな基準

新共焦点3D顕微鏡μsurf expertは検査や研究での使用に最適化されており、非接触表面測定学の分野の高い要求を満たしています。ナノフォーカスによるμsurfシリーズの最新商品開発は、共焦技術に於ける20年ものノウハウの結果と言えるでしょう。

高分解能観測センサー、全軸（x,y,z）リニアエンコーダーと柔軟性のある自動オプションを搭載したμsurf expertは、非接触表面測定学の分野に於ける新たな基準となりました。共焦点顕微鏡は、手動z軸位置決め及びエルゴノミクス設計に起因する問題を緩和する高度な操作を約束します。

ユーザーから独立した完全自動測定を行うことにより、高性能なままで測定システムを簡単に使用することが可能となりました。

自動機能に含まれるもの

サンプルの自動測定及び分析からプログラムされたシリーズの数千にも上る個別測定については、ナノフォーカスは柔軟性のある測定のプログラム化と評価戦略を可能にする高性能データベースのソフトを提供しています。

HDR機能

HDR機能（高ダイナミックレンジ）は、測定表面の視覚的表現を最適化することを保証します。高さ情報は65536階調（16ビット）の測定が可能。これは、露光過度及び不足が最小限に抑えられ、最善の対照グラデーションが検知されるということです。急角度と複素幾何学の表面構造であっても、人工物ゼロの高精度で測定が可能です。

4メガピクセルのカメラ

4メガピクセルのカメラ（任意で搭載可能）により、更なる解像能力が可能となり、側面の表面構造の分析に役立ちます。測定ポイント（2,048×2,048）が非常に多く、回折限界付近の分析の改善だけでなく低倍率での使用等に非常に便利です。特許を取得したμsurf技術により、4メガピクセルのカメラを使用中でも常に速い測定スピードを保ちます。

国際基準に則った測定及び分析

地域のµsurf測定原理、粗度、幾何学、平坦性、摩耗、支持力比の他、パラメーターはISO25178及びISO4287等の国際基準に従って決定することができます。

触覚測定学と違って表面構造の三次元測定で定量的情報が与えられ、それによってより意義のある結果が得られるのです。同時に、最適文書の為の高焦点深度の顕微鏡像も作成されます。超微細な粗さのある構造の側面を正確に作成できることは、ナノフォーカスが開発した共焦点測定技術の品質判定基準が中心となっていることを示しています。

これは、検査や品質管理の測定器として欠くことのできない条件です。

応用例

柔軟性のある共焦点3D顕微鏡µsurf expertなら、検査及び開発研究に於いて、表面の性質に関係なく様々な素材を測定できます。測定及び分析の自動化の可能性も秘めている共焦点顕微鏡は、製造過程の品質保証に於いて多数の測定を行うのにも適しています。

バイオセンサー（生体内感知装置）

共焦点顕微鏡µsurf expertは、バイオセンサーの細胞膜等の透明な液体の表面も再現性三次元測定データに変換します。

板金

共焦点顕微鏡µsurf expertはDIN EN ISO凹凸評価の他に、表面閉鎖比率の微小体積も計算、評価することができます。

マイクロ流体工学

マイクロ流体の一般的急角度や非常に平らな表面であっても、共焦点顕微鏡µsurf expertなら弁やチャンネルの横断面積や高さ、幅、量等を正確に測定できます。