特長
- 10nmの高分解能を実現
- 微小スポットサイズのプローブを採用
- 小型プローブの採用で装置への組込みも容易
- 豊富なプローブ種類を容易
- 3D形状測定装置(μシリーズ)としての提供も可能
原理
コントローラ内部に白色光源・波長解析モジュール・マイクロプロセッサを搭載し、光源からの光はファイバーを通りプローブによって集光し、測定物に照射されます。
測定物から反射された光から波長解析モジュールによって共焦点算出し、距離を算出します。CHR-150は光源・検出器をコントローラ内部に配置することで、超小型変位センサモジュールを実現しておりますので、自動検査装置など多チャンネルのセンサモジュールでの計測でも低コストでご利用いただけます。
仕様
形状測定 プローブ |
膜厚測定 プローブ |
||||||
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測定範囲 (μm) |
300 | 600 | 3000 | 6000 | 10000 | 25000 | 2~250 |
分解能 (nm) |
10 | 20 | 100 | 200 | 300 | 800 | 10 |
精度 (μm) |
0.1 | 0.2 | 1 | 2 | 3 | 8 | 0.1 |
WD (mm) |
4.5 | 6.5 | 22.5 | 36 | 70 | 80 | 22 |
スポット径 (μm) |
5 | 4 | 12 | 16 | 24 | 25 | 40 |
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